半導体のイオン注入と熱処理とは？汚染対策の重要性も解説
半導体デバイスは、私たちの生活を支える電子機器の「頭脳」とも言える存在です。その製造過程において、イオン注入は…
半導体における微細化とは？技術のポイントを解説
現代社会において、スマートフォン、PC、自動車、AIなど、あらゆるデジタルデバイスやシステムの中核を担うのが半…
成膜技術が果たす重要な役割
半導体をはじめとする先端電子デバイスの性能向上において、薄膜材料は欠かせない存在です。導電性・絶縁性・耐熱性な…
酸化膜・窒化膜の形成技術と課題
シリコン酸化膜や窒化膜といった絶縁膜は、半導体製造に欠かせない基礎材料であり、デバイスの動作安定性や信頼性を左…